光學微電子淨化工程
時間：2019-03-05 16:03:50
? ? 淨化方案一：
? ? 組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
? ? 這是一個最傳統的淨化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組裡含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
? ? 方案特點：
? ? A.建議新風經過集中處理後再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
? ? C.這類方案一般可以适用潔淨度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的淨化無塵廠房。
? ? 淨化方案二：
? ? 水冷櫃機+增壓風櫃+高效送風口
? ? 與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷櫃機可以根據具體的情況布置于較小機房内或淨化車間内，增壓風櫃也可以布置于機房内或吊在機房内或在夾層内。
? ? 方案特點：
? ? 這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以适用于潔淨度為千級、萬級、十萬級等的淨化無塵廠房。
? ? 淨化方案三：
? ? 分體空調櫃機+FFU送風口
? ? 這是最簡易的一個空調方案。是直接将分體空調櫃機布置于車間内，并用彩鋼圍護起來，在櫃機回風口處再在彩鋼闆上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案适用于對室内溫濕度精度要求不高的無塵車間。
? ? 方案特點：
? ? A、無塵車間的潔淨度：LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
? ? B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
? ? C、新風量大
? ? D、送風量大
? ? 組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
? ? 這是一個最傳統的淨化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組裡含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
? ? 方案特點：
? ? A.建議新風經過集中處理後再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
? ? C.這類方案一般可以适用潔淨度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的淨化無塵廠房。
? ? 水冷櫃機+增壓風櫃+高效送風口
? ? 與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷櫃機可以根據具體的情況布置于較小機房内或淨化車間内，增壓風櫃也可以布置于機房内或吊在機房内或在夾層内。
? ? 方案特點：
? ? 這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定;這類方案一般可以适用于潔淨度為千級、萬級、十萬級等的淨化無塵廠房。
? ? 分體空調櫃機+FFU送風口
? ? 這是最簡易的一個空調方案。是直接将分體空調櫃機布置于車間内，并用彩鋼圍護起來，在櫃機回風口處再在彩鋼闆上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案适用于對室内溫濕度精度要求不高的無塵車間。
? ? 方案特點：
? ? A、無塵車間的潔淨度：LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
? ? B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
? ? C、新風量大
? ? D、送風量大
電子無塵淨化車間潔淨等級說明
| 等級 | 等級說明及車間應用 |
| 1級 | 這個級别的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業，對集成電路的精确要求為亞微米 |
| 10級 | 這個級别的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業 |
| 100級 | 很多人認為，這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間，人們常常錯誤地将100級潔淨室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求，100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等，這一潔淨室大量應用于，植如體内物品的制造，外科手術，包括移植手術，集成器的制造，那些對細菌感染特别敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術後的隔離治療 |
| 1000級 | 這個級别的無塵車間主要用于高質量光學産品的生産，還用于測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質微型軸承等 |
| 10000級 | 萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用 |
| 100000級 | 十萬級無塵車間用于很多的工業部門，比如光學産品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的制造，食品飲料的生産，醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間 |
潔淨室（區）空氣潔淨級别表
| 潔淨度級别 | 塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數 | ≥5μm塵粒數 | 微生物最大允許數浮遊菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
| 100級 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000級 | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000級 | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000級 | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
光學微電子淨化工程換氣參數
| 換氣次數： | 100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次 | 壓差： | 主車間對相鄰房間≥5Pa |
| 平均風速： | 10級、100級0.3－0.5m/s | 溫度： | 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃ 溫度45－65％ GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜 電子車間濕度略高以免産生靜電 |
| 噪聲： | ≤65dB（A） | ||
| 新風補充量： | 新風補充量是總送風量的10％－30％ | ||
| 照度： | 300LX |
