廈門風淋室廠家：各行各業對無塵車間潔淨度等級的要求
時間：2019-03-11 19:38:55
廈門風淋室廠家：各行各業對無塵車間潔淨度等級的要求? ? ? ?現今，無塵車間潔淨技術已廣泛應用于各行各業的産品生産或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環境控制，由于各行各業的産品特性不同、各種産品的生産工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環境的内容、指标均不會相同。所謂無塵車間的環境控制的内容應該包括：空氣淨化、潔淨建築、與産品直接接觸的水或氣體或化學品和生産設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設計不僅要求對室内的空氣進行淨化達到規定的空氣潔淨度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染，有的無塵車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學品等。
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1、半導體集成電路要求的空氣潔淨度等級
集成電路生産環境要求的空氣潔淨度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔淨度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障确定的。
舉例說明：
例一、某廠集成電路前工序潔淨廠房，無塵車間設計按加工、生産6英寸矽片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.
無塵車間空氣潔淨度等級要求：
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| 光刻、勻膠區 | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 | ISO 5級 |
例二、某廠集成電路前工序潔淨廠房，無塵車間設計按加工、生産5英寸矽片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.
無塵車間空氣潔淨度等級要求：
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| 光刻、勻膠區 | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 | ISO 4級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 | ISO 6級 |
2、一些電子産品生産環境的空氣潔淨度等級
随着信息産業技術的發展，許多電子産品性能、質量的提高和生産過程的微細化，日益要求生産環境具有一定的空氣潔淨度等級和控制無塵車間内工藝生産所需的各類高純物質的供給質量，目前國内外還沒有統一電子産品的空氣潔淨度等級或生産環境控制要求的統一規定，各種電子産品的生産廠家依據其生産的産品品種、所采用的生産工藝技術、生産工藝設備、生産用原輔料以及無塵車間運行的實踐經驗确定設計建造無塵車間的空氣潔淨度等級。
舉例說明：
例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生産用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優點。
各無塵車間空氣潔淨度等級，控制粒子粒徑為0.3um
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| 清洗、塗膠、曝光間 | ISO 4級 |
| 顯影、刻蝕間 | ISO 5級 |
| 成盒間 | ISO 5級 |
| 濺射、CVD間 | ISO 6級 |
例二、某高密度磁帶生産用潔淨廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um
各無塵車間的空氣潔淨度等級要求
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| 塗布頭 | ISO 5級 |
| 備件、切帶、帶基、測試、塗布間和烘幹、固化間 | ISO 6級 |
| 組裝、維修間和部分原料庫 | ISO 7級 |
| 砂磨、化驗間和配件間 | ISO 8級 |
成品庫和部分原料庫準潔淨間
3、精密機械、精細化工等産品生産環境的空氣潔淨度等級
例一、一個陀螺儀生産用無塵車間
無塵車間空氣潔淨度等級要求
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| 裝配間 | ISO 6級 |
| 軸承加工間 | ISO 5級 |
例二、一個感光膠片生産用無塵車間
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| 流延機頭部，塗布機頭部 | ISO 5級 |
| 塗布室，流延機室 | ISO 5級 |
